近日，位于連云港開發(fā)區(qū)的江蘇先導先進裝備科技有限公司生產(chǎn)制造的PVD(即物理氣相沉積)三腔體連續(xù)式濺射鍍膜設備成功交付。江蘇先導先進裝備科技有限公司相關負責人劉磊介紹，該設備是先導落戶連云港后交付的首臺光伏設備，其成功下線標志著先導科技成功打通從材料到設備全流程供應鏈，也意味著連云港光伏產(chǎn)業(yè)誕生了首臺套成品設備。

　　薄膜太陽能電池，是一種利用薄膜材料作為光吸收層的太陽能電池。它在弱光條件下仍可發(fā)電，既可應用于大規(guī)模光伏電站，也可制成柔性及半透明電池，實現(xiàn)真正的光伏建筑一體化應用。然而，薄膜太陽能電池生產(chǎn)設備復雜昂貴，其生產(chǎn)設備制造成本占薄膜太陽能電池發(fā)電成本七成左右。

　　提升國產(chǎn)薄膜太陽能制造設備自主可控水平有助于提升中國光伏產(chǎn)品市場競爭力。為此，先導科技啟動了PVD三腔體連續(xù)式濺射鍍膜設備研發(fā)制造。劉磊介紹，先導科技是一家全球領先的專業(yè)從事稀散金屬及其高端材料制造企業(yè)，PVD三腔體連續(xù)式濺射鍍膜設備研發(fā)有助于打通企業(yè)材料板塊和裝備制造板塊供應鏈體系，為中國光伏產(chǎn)業(yè)提供一體化解決方案。

　　走進先導科技連云港生產(chǎn)車間，可以看到一臺像蒸包子“蒸籠”一樣的設備，各種傳感器、管道、電纜整齊地排列在設備上。

　　這臺光伏設備是如何將一塊普通的平板玻璃變?yōu)橐粔K可以發(fā)電的薄膜太陽能電池片?只見工作人員首先將一個如同成年男子上臂粗的靶材(一種復合金屬材料的圓柱體)放入靶材腔體并啟動機器。此刻，機器內(nèi)部的真空泵不斷抽取設備反應腔中的空氣，確保真空度達到指定的數(shù)值，并持續(xù)保持該狀態(tài)，并將惰性氣體氬氣注入反應腔中，促使腔體內(nèi)部形成一個低壓氬氣氛圍。這一切做好后，生產(chǎn)線會將一片完成導電層覆膜的“0.6米×1.2米”普通平板玻璃“送”入。

　　神奇的一幕在腔體內(nèi)發(fā)生了：高電壓促使氬氣的氬原子變?yōu)闅咫x子，從而促使氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，使靶材表面的原子或者分子被濺射出來沉積到平板玻璃上。這就類似于打桌球，白色桌球撞擊有顏色桌球促使其向四周逃逸。只不過在薄膜太陽能電池濺射鍍膜的過程中，因為精準控制其濺射方向和力度，靶材原子不是隨意逃逸，而是準確逃逸到平板玻璃上。經(jīng)過化學反應和物理反應形成疊層結構的薄膜促使原有的平板玻璃厚度增加兩至三微米，即成為轉化率可達20%以上的薄膜太陽能電池。

　　“這個設備的研發(fā)制造需要精準超高頻射頻技術、精密的真空和溫度控制技術、快速自動傳輸技術以及反應腔系統(tǒng)等一系列技術支持?！眲⒗诮榻B，經(jīng)過反復的試驗，制造出的這臺PVD設備具有能夠沉積高純度薄膜、高靶材的利用率、高薄膜附著力等優(yōu)點，可以用于制備各種金屬電極、透明氧化物薄膜太陽能電池片等，也可以用于制備建筑玻璃和車窗玻璃的鍍膜。

　　劉磊表示，未來，該企業(yè)將加速對鍍膜設備進行迭代升級，努力將連云港打造成為國內(nèi)高端濺射鍍膜設備制造基地。(連云港開發(fā)區(qū)?周瑩?劉磊)