原標(biāo)題:2025世界制造業(yè)大會(huì)丨蚌埠市全力打造千億元智能傳感產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)
傳感器,被稱為人工智能的“神經(jīng)元”,是工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、車聯(lián)網(wǎng)、人形機(jī)器人等未來產(chǎn)業(yè)的基石,而MEMS晶圓則是構(gòu)成智能傳感器的“制造基座”。
目前,蚌埠市是安徽省內(nèi)唯一同時(shí)擁有集成電路及MEMS晶圓生產(chǎn)線的城市。記者走進(jìn)位于蚌埠市中國(guó)傳感谷的安徽華鑫微納集成電路有限公司生產(chǎn)車間,高度智能化的晶圓生產(chǎn)線正全速運(yùn)轉(zhuǎn),該公司投資50.6億元建設(shè)的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目采用全國(guó)產(chǎn)化天車系統(tǒng),是全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線,規(guī)劃月產(chǎn)能達(dá)到3萬(wàn)片?。
“今年3月,項(xiàng)目首批全流程工程批下線開始調(diào)試生產(chǎn),預(yù)計(jì)12月份可達(dá)到月產(chǎn)一萬(wàn)片的目標(biāo),2027年達(dá)產(chǎn)后將成為國(guó)內(nèi)MEMS晶圓產(chǎn)出最大的生產(chǎn)線??!卑不杖A鑫微納集成電路有限公司副總經(jīng)理丁敬秀介紹,8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線集體硅MEMS工藝、壓電MEMS工藝、MEMS-CMOS、2.5D/3D微系統(tǒng)集成工藝于一體,工藝技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化能力處于全國(guó)領(lǐng)先水平。
近年來,蚌埠市全力打造中國(guó)傳感谷這一核心平臺(tái),圍繞晶圓制造優(yōu)勢(shì),大力發(fā)展MEMS傳感器產(chǎn)業(yè),推動(dòng)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群化、規(guī)?;l(fā)展。
中國(guó)傳感谷現(xiàn)已形成了以芯動(dòng)聯(lián)科、華鑫智感等為領(lǐng)銜的芯片設(shè)計(jì),以北方微電子院、華鑫微納等為領(lǐng)銜的晶2圓制造,以希磁科技、禹芯半導(dǎo)體、太測(cè)臨峰等為領(lǐng)銜的封裝測(cè)試,以鳴楚新材、富博新材、信諾達(dá)等為領(lǐng)銜的材料設(shè)備,以海車神馭、華安星辰、中科微感等為領(lǐng)銜的終端應(yīng)用智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈體系。
“預(yù)計(jì)到2027年,中國(guó)傳感谷產(chǎn)值將突破300億元?!卑霾菏薪?jīng)開區(qū)黨工委委員、管委會(huì)副主任湯偉告訴記者,中國(guó)傳感谷已連續(xù)兩年被賽迪顧問評(píng)為全國(guó)MEMS傳感器十大園區(qū),排名也從去年的全國(guó)第8名上升至今年的第6名,正奮力朝著千億元智能傳感產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)的目標(biāo)邁進(jìn)。