裝備制造業(yè)是國之重器，是實體經(jīng)濟的重要組成部分。近年來，合肥裝備制造產(chǎn)業(yè)已實現(xiàn)千億產(chǎn)值規(guī)模，2023年增加值增速4.3%，繼續(xù)保持平穩(wěn)增長的良好態(tài)勢。新年伊始，我市的裝備制造企業(yè)也忙得熱火朝天，為新年新訂單奮戰(zhàn)“開門紅”。

零重力飛機工業(yè)工廠內(nèi)，工程師正在裝配eVTOL飛行器ZG-ONE二號機。

合肥欣奕華潔凈車間內(nèi)的AMHS系統(tǒng)。

天花板上的“物流中心”

2月5日，“立春”剛過，雪落滿城，在合肥新站高新區(qū)龍子湖路上，合肥欣奕華智能機器股份有限公司的高潔凈車間內(nèi)正忙得火熱，一筆大訂單正加班加點趕制。

高潔凈車間的天花板上，一輛輛“天車”載著零件物料在空中馳騁，絲滑地向左向右拐彎，在不同軌道上四散開來，向著既定的“目的地”出發(fā)，像是樂譜上歡樂跳躍的的音符——這是合肥欣奕華自主研發(fā)的AMHS（半導體自動物料搬送系統(tǒng)）系統(tǒng)，將助力全國各大晶圓廠實現(xiàn)生產(chǎn)效率再提速。

“拿我們現(xiàn)實生活里的公路做比喻，我們在工廠天花板上架設軌道，‘天車’像是汽車行駛在公路上，根據(jù)晶圓廠的不同需求，有些設置雙層軌道，就像公路和高架橋，‘天車’會根據(jù)搬運物料的緊急程度等指令，在每個分叉口動態(tài)選擇搬送途徑。”合肥欣奕華智能機器股份有限公司產(chǎn)品經(jīng)理王正文說。

據(jù)了解，AMHS（半導體自動物料搬送系統(tǒng)）由傳輸設備、存儲設備和控制軟件等軟硬件共同組成，其核心包括OHT（空中走行式無人搬送天車）、Stocker（晶圓盒自動存儲庫）等成套裝備及其OCS（天車控制系統(tǒng)）、MCS（物料控制系統(tǒng)）等軟件控制系統(tǒng)，可廣泛應用于半導體集成電路、新型顯示、新能源等高端制造業(yè)領域，特別是硅片生產(chǎn)、芯片制造與封測等多場景。

芯片制造對工藝和環(huán)境要求很高，所以潔凈工廠內(nèi)的空間利用率、產(chǎn)品良率和生產(chǎn)效率等成為其最關心的問題。而AMHS作為半導體制造工廠的動脈系統(tǒng)，可以在潔凈環(huán)境中實現(xiàn)復雜工藝間的無人自動搬送，相比于人工搬運提升了效率，增加了空間利用率，大大提升芯片制造品質和良率。

“目前，OHT最大負載15公斤，行駛速度最高可達320米/分鐘，合肥欣奕華AMHS系統(tǒng)的安全性能、搬送效率、晶圓保護、動作精度等各項性能指標均達到國際先進水平，而且擁有高效的動態(tài)路徑算法，已具備大規(guī)模車輛調度能力，在這個專為AMHS系統(tǒng)生產(chǎn)準備的超4000平方米的千級潔凈車間里，可實現(xiàn)月產(chǎn)100臺天車的產(chǎn)能。”王正文說。

打“飛的”飛向未來

在合肥高新區(qū)櫻花路上，零重力飛機工業(yè)（合肥）有限公司（以下簡稱“零重力飛機工業(yè)”）的工廠內(nèi)，工程師們正在一個“大家伙”旁裝配零件，這是上個月剛落地合肥的eVTOL飛行器ZG-ONE二號機，市民們能否打“飛的”上天，就看它裝配好后試飛的英姿了。

成立于2021年的零重力飛機工業(yè)，是一家專攻載人電動垂直起降（eVTOL）飛行器的創(chuàng)新型企業(yè)，業(yè)務覆蓋電動垂直起降（eVTOL）飛行器的設計研發(fā)、生產(chǎn)制造及運營服務等。

去年9月，零重力多旋翼eVTOL飛行器ZG-ONE一號機總裝下線，在下線兩個月內(nèi)完成配重飛行、航向增穩(wěn)、鎖定航向飛行等不同科目共計35架次283分鐘的飛行測試，為二號機的落地提供了豐富的數(shù)據(jù)支撐。

“二號機目前正在進行總裝，機臂、機身還有相關線束都安裝好了，計劃春節(jié)后安裝搭載設備、電池艙等，一切順利的話3月就會開展試飛，它是自動駕駛模式，可載2人，巡航速度在75公里/小時左右，最大速度可達到125公里/小時，續(xù)航里程在30公里左右，主要用于研學教育、低空旅游、應急救援、短途交通接駁等場景。”零重力飛機工業(yè)生產(chǎn)中心主任章小華說。

“我們正在申請適航取證，推進量產(chǎn)與交付。”零重力飛機工業(yè)聯(lián)合創(chuàng)始人兼COO石紅介紹，目前，零重力飛機工業(yè)已經(jīng)與多家eVTOL運營單位簽署訂購協(xié)議，總計達成5年累計采購230余架ZG-ONE的意向訂單。

“未來，eVTOL飛行器將‘飛入尋常百姓家’，成為像汽車一樣普遍的交通工具，提高城市、城際的出行效率，每天‘打飛的’上下班不再是夢。”石紅說。

本地配套率大有可為

作為基礎性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，裝備制造業(yè)是制造業(yè)的“脊梁”。

近年來，合肥聚焦工程機械、工業(yè)機器人、機床、智能成套裝備、零部件等領域，成長起一批在全國有影響力的代表性企業(yè)，實施一批優(yōu)質項目，不斷提升產(chǎn)業(yè)集群能級，努力打造高端裝備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展高地。

“合肥的裝備制造業(yè)聚焦16條產(chǎn)業(yè)鏈配套需求，優(yōu)質企業(yè)快速成長，現(xiàn)有國家級單項冠軍企業(yè)7家、專精特新‘小巨人’企業(yè)48家、省級專精特新企業(yè)152家；另一方面，隨著新能源汽車、光伏、集成電路等產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，各行業(yè)龍頭企業(yè)吸引眾多核心配套項目落地合肥。”市經(jīng)信局裝備產(chǎn)業(yè)處處長沈堯介紹。

高端裝備制造產(chǎn)業(yè)技術含量高、附加值高、產(chǎn)業(yè)地位高，處于價值鏈高端和產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)，發(fā)展水平更是決定著產(chǎn)業(yè)鏈的綜合競爭力，合肥聚焦產(chǎn)業(yè)鏈配套需求，多點“開花”，活力強勁。

在工程機械方面，合力股份30多年來穩(wěn)居工業(yè)車輛領域全國第1，2022年位世界第7；工業(yè)機器人方面，合肥欣奕華的潔凈搬運機器人在國內(nèi)細分市場占有率超70%；機床方面，合鍛智能是國內(nèi)唯一同時具備間接、直接熱成型技術的企業(yè)，在熱成形成套裝備領域占據(jù)30%市場份額，位居國內(nèi)首位、國際第三；智能成套裝備（含色選機、電氣機械和器材）方面，巨一科技是國內(nèi)領先的汽車智能裝備整體解決方案專家，處于行業(yè)第一梯隊，美亞光電、中科光電等色選機行業(yè)占據(jù)國內(nèi)80%市場份額。

目前，合肥裝備制造企業(yè)承擔國家工業(yè)強基、揭榜掛帥補短板等專項7個，2023年獲批省級首臺套裝備55個，占全省1/4。

“新年新氣象，合肥裝備制造企業(yè)還需要攜外銷之勢，大力開拓本地市場，我們本地配套率有很大的提升空間。”沈堯說。

·記者黃紫燕·