零重力飛機(jī)工業(yè)工廠內(nèi)，工程師正在裝配eVTOL飛行器ZG-ONE二號(hào)機(jī)。
合肥欣奕華潔凈車(chē)間內(nèi)的AMHS系統(tǒng)。
裝備制造業(yè)是國(guó)之重器，是實(shí)體經(jīng)濟(jì)的重要組成部分。近年來(lái)，合肥裝備制造產(chǎn)業(yè)已實(shí)現(xiàn)千億產(chǎn)值規(guī)模，2023年增加值增速4.3%，繼續(xù)保持平穩(wěn)增長(zhǎng)的良好態(tài)勢(shì)。新年伊始，我市的裝備制造企業(yè)也忙得熱火朝天，為新年新訂單奮戰(zhàn)“開(kāi)門(mén)紅”。
天花板上的“物流中心”
2月5日，立春剛過(guò)，雪落滿(mǎn)城，在合肥新站高新區(qū)龍子湖路上，合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司的高潔凈車(chē)間內(nèi)正忙得火熱，一筆大訂單正加班加點(diǎn)趕制。
高潔凈車(chē)間的天花板上，一輛輛“天車(chē)”載著零件物料在空中馳騁，絲滑地向左向右拐彎，在不同軌道上四散開(kāi)來(lái)，向著既定的“目的地”出發(fā)，像是樂(lè)譜上歡樂(lè)跳躍的音符——這是合肥欣奕華自主研發(fā)的AMHS（半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)），將助力全國(guó)各大晶圓廠實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)效率再提速。
“拿我們現(xiàn)實(shí)生活里的公路作比喻，我們?cè)诠S天花板上架設(shè)軌道，‘天車(chē)’像是汽車(chē)行駛在公路上，根據(jù)晶圓廠的不同需求，有些設(shè)置雙層軌道，就像公路和高架橋，‘天車(chē)’會(huì)根據(jù)搬運(yùn)物料的緊急程度等指令，在每個(gè)分叉口動(dòng)態(tài)選擇搬送途徑。”合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司產(chǎn)品經(jīng)理王正文說(shuō)。
據(jù)了解，AMHS由傳輸設(shè)備、存儲(chǔ)設(shè)備和控制軟件等軟硬件共同組成，其核心包括OHT（空中走行式無(wú)人搬送天車(chē)）、Stocker（晶圓盒自動(dòng)存儲(chǔ)庫(kù)）等成套裝備及其OCS（天車(chē)控制系統(tǒng)）、MCS（物料控制系統(tǒng)）等軟件控制系統(tǒng)，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、新型顯示、新能源等高端制造業(yè)領(lǐng)域，特別是硅片生產(chǎn)、芯片制造與封測(cè)等多場(chǎng)景。
芯片制造對(duì)工藝和環(huán)境要求很高，所以潔凈工廠內(nèi)的空間利用率、產(chǎn)品良率和生產(chǎn)效率等成為其最關(guān)心的問(wèn)題。而AMHS作為半導(dǎo)體制造工廠的動(dòng)脈系統(tǒng)，可以在潔凈環(huán)境中實(shí)現(xiàn)復(fù)雜工藝間的無(wú)人自動(dòng)搬送，相比于人工搬運(yùn)提升了效率，增加了空間利用率，大大提升芯片制造品質(zhì)和良率。
“目前，OHT最大負(fù)載15公斤，行駛速度最高可達(dá)320米/分鐘，合肥欣奕華AMHS系統(tǒng)的安全性能、搬送效率、晶圓保護(hù)、動(dòng)作精度等各項(xiàng)性能指標(biāo)均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，而且擁有高效的動(dòng)態(tài)路徑算法，已具備大規(guī)模車(chē)輛調(diào)度能力，在這個(gè)專(zhuān)為AMHS系統(tǒng)生產(chǎn)準(zhǔn)備的超4000平方米的千級(jí)潔凈車(chē)間里，可實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)100臺(tái)天車(chē)的產(chǎn)能。”王正文說(shuō)。
打“飛的”飛向未來(lái)
在合肥高新區(qū)櫻花路上，零重力飛機(jī)工業(yè)（合肥）有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“零重力飛機(jī)工業(yè)”）的工廠內(nèi)，工程師們正在一個(gè)“大家伙”旁裝配零件，這是上個(gè)月剛落地合肥的eVTOL飛行器ZG-ONE二號(hào)機(jī)，市民們能否打“飛的”上天，就看它裝配好后試飛的英姿了。
成立于2021年的零重力飛機(jī)工業(yè)，是一家專(zhuān)攻載人電動(dòng)垂直起降（eVTOL）飛行器的創(chuàng)新型企業(yè)，業(yè)務(wù)覆蓋電動(dòng)垂直起降（eVTOL）飛行器的設(shè)計(jì)研發(fā)、生產(chǎn)制造及運(yùn)營(yíng)服務(wù)等。
去年9月，零重力多旋翼eVTOL飛行器ZG-ONE一號(hào)機(jī)總裝下線(xiàn)，在下線(xiàn)兩個(gè)月內(nèi)完成配重飛行、航向增穩(wěn)、鎖定航向飛行等不同科目共計(jì)35架次283分鐘的飛行測(cè)試，為二號(hào)機(jī)的落地提供了豐富的數(shù)據(jù)支撐。
“二號(hào)機(jī)目前正在進(jìn)行總裝，機(jī)臂、機(jī)身還有相關(guān)線(xiàn)束都安裝好了，計(jì)劃春節(jié)后安裝搭載設(shè)備、電池艙等，一切順利的話(huà)3月就會(huì)開(kāi)展試飛，它是自動(dòng)駕駛模式，可載2人，巡航速度在75公里/小時(shí)左右，最大速度可達(dá)到125公里/小時(shí)，續(xù)航里程在30公里左右，主要用于研學(xué)教育、低空旅游、應(yīng)急救援、短途交通接駁等場(chǎng)景。”零重力飛機(jī)工業(yè)生產(chǎn)中心主任章小華說(shuō)。
“我們正在申請(qǐng)適航取證，推進(jìn)量產(chǎn)與交付。”零重力飛機(jī)工業(yè)聯(lián)合創(chuàng)始人兼COO石紅介紹，目前，零重力飛機(jī)工業(yè)已經(jīng)與多家eVTOL運(yùn)營(yíng)單位簽署訂購(gòu)協(xié)議，總計(jì)達(dá)成5年累計(jì)采購(gòu)230余架ZG-ONE的意向訂單。
“未來(lái)，eVTOL飛行器將‘飛入尋常百姓家’，成為像汽車(chē)一樣普遍的交通工具，提高城市、城際的出行效率，每天‘打飛的’上下班不再是夢(mèng)。”石紅說(shuō)。
本地配套率大有可為
作為基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，裝備制造業(yè)是制造業(yè)的“脊梁”。
近年來(lái)，合肥聚焦工程機(jī)械、工業(yè)機(jī)器人、機(jī)床、智能成套裝備、零部件等領(lǐng)域，成長(zhǎng)起一批在全國(guó)有影響力的代表性企業(yè)，實(shí)施一批優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目，不斷提升產(chǎn)業(yè)集群能級(jí)，努力打造高端裝備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展高地。
“合肥的裝備制造業(yè)聚焦16條產(chǎn)業(yè)鏈配套需求，優(yōu)質(zhì)企業(yè)快速成長(zhǎng)，現(xiàn)有國(guó)家級(jí)單項(xiàng)冠軍企業(yè)7家、專(zhuān)精特新‘小巨人’企業(yè)48家、省級(jí)專(zhuān)精特新企業(yè)152家；另一方面，隨著新能源汽車(chē)、光伏、集成電路等產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，各行業(yè)龍頭企業(yè)吸引眾多核心配套項(xiàng)目落地合肥。”市經(jīng)信局裝備產(chǎn)業(yè)處處長(zhǎng)沈堯介紹。
高端裝備制造產(chǎn)業(yè)技術(shù)含量高、附加值高、產(chǎn)業(yè)地位高，處于價(jià)值鏈高端和產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)，發(fā)展水平更是決定著產(chǎn)業(yè)鏈的綜合競(jìng)爭(zhēng)力，合肥聚焦產(chǎn)業(yè)鏈配套需求，多點(diǎn)“開(kāi)花”，活力強(qiáng)勁。
在工程機(jī)械方面，合力股份30多年來(lái)穩(wěn)居工業(yè)車(chē)輛領(lǐng)域全國(guó)第一，2022年位居世界第七；工業(yè)機(jī)器人方面，合肥欣奕華的潔凈搬運(yùn)機(jī)器人在國(guó)內(nèi)細(xì)分市場(chǎng)占有率超70%；機(jī)床方面，合鍛智能是國(guó)內(nèi)唯一同時(shí)具備間接、直接熱成型技術(shù)的企業(yè)，在熱成型成套裝備領(lǐng)域占據(jù)30%市場(chǎng)份額，位居國(guó)內(nèi)首位、國(guó)際第三；智能成套裝備（含色選機(jī)、電氣機(jī)械和器材）方面，巨一科技是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的汽車(chē)智能裝備整體解決方案專(zhuān)家，處于行業(yè)第一梯隊(duì)，美亞光電、中科光電等色選機(jī)行業(yè)占據(jù)國(guó)內(nèi)80%市場(chǎng)份額。
目前，合肥裝備制造企業(yè)承擔(dān)國(guó)家工業(yè)強(qiáng)基、揭榜掛帥補(bǔ)短板等專(zhuān)項(xiàng)7個(gè)，2023年獲批省級(jí)首臺(tái)套裝備55個(gè)，占全省1/4。
“新年新氣象，合肥裝備制造企業(yè)還需要攜外銷(xiāo)之勢(shì)，大力開(kāi)拓本地市場(chǎng)，我們本地配套率有很大的提升空間。”沈堯說(shuō)。
·記者黃紫燕·
