電子束光刻機(jī)在做應(yīng)用測(cè)試。

近日，位于杭州城西科創(chuàng)大走廊的浙江大學(xué)成果轉(zhuǎn)化基地傳出喜訊：作為基地首批簽約孵化項(xiàng)目之一，全國(guó)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)“羲之”已進(jìn)入應(yīng)用測(cè)試，其精度比肩國(guó)際主流設(shè)備，標(biāo)志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國(guó)刻刀”。

在測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)，浙大余杭量子研究院相關(guān)團(tuán)隊(duì)緊張忙碌著，一臺(tái)模樣酷似大型鋼柜的機(jī)器正在做應(yīng)用測(cè)試，電子顯示屏上不斷閃爍著實(shí)時(shí)參數(shù)?！斑@不是普通的機(jī)器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人告訴記者，依托省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，這臺(tái)研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機(jī)“羲之”已正式投入市場(chǎng)。

“羲之”取名自書(shū)法家王羲之，“只不過(guò)我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫(xiě)電路?！毖邪l(fā)團(tuán)隊(duì)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，這臺(tái)設(shè)備專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，它通過(guò)高能電子束在硅基上“手寫(xiě)”電路，精度達(dá)到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設(shè)計(jì)無(wú)須掩膜版，如同用納米級(jí)毛筆在芯片上精準(zhǔn)作畫(huà)，特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。

此前，此類設(shè)備受國(guó)際出口管制，中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、之江實(shí)驗(yàn)室等國(guó)內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期無(wú)法采購(gòu)，“羲之”的落地有望打破這一困局。記者了解到，其定價(jià)低于國(guó)際均價(jià)，目前已與多家企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)展開(kāi)接洽。

“羲之”的成功并非孤例，其背后是科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新“兩新融合”的強(qiáng)力驅(qū)動(dòng)。今年7月，省級(jí)教育科技人才一體改革專項(xiàng)試點(diǎn)項(xiàng)目落地位于余杭區(qū)的浙江大學(xué)校友企業(yè)總部經(jīng)濟(jì)園，浙江大學(xué)與該園聯(lián)手搭建了成果轉(zhuǎn)化高速路：園區(qū)企業(yè)開(kāi)出“技術(shù)需求清單”；浙大教授帶研究生組隊(duì)“揭榜”；從實(shí)驗(yàn)室樣品到量產(chǎn)產(chǎn)品，全流程陪跑。

在城西科創(chuàng)大走廊，這樣的融合正成為常態(tài)。院士工作站落地城投未來(lái)之星辦公樓，無(wú)縫對(duì)接企業(yè)需求；城西科創(chuàng)大走廊連年推出優(yōu)秀概念驗(yàn)證項(xiàng)目征集，打通成果轉(zhuǎn)化的“最前一公里”。接下去，城西科創(chuàng)大走廊將持續(xù)推動(dòng)“兩新融合”，為硬科技突破加速賦能，推動(dòng)科技成果高效轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)力。