2024年3月20日至22日，被譽(yù)為“半導(dǎo)體盛宴”的SEMICON China 2024在上海新國(guó)際博覽中心舉行。合肥欣奕華第四代半導(dǎo)體AMHS在展會(huì)上精彩亮相。

根據(jù)SEMI最新預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)，全球半導(dǎo)體銷售額2024年有望增長(zhǎng)10%以上，并在2030年突破1萬(wàn)億美元。半導(dǎo)體AMHS投入約占整個(gè)晶圓廠設(shè)備支出2~3%，已形成百億級(jí)人民幣規(guī)模的產(chǎn)業(yè)風(fēng)口。作為晶圓廠制造不可或缺的設(shè)備系統(tǒng)，AMHS長(zhǎng)期被國(guó)外少數(shù)企業(yè)壟斷。

半導(dǎo)體工廠需要無(wú)塵潔凈的環(huán)境運(yùn)行，因而對(duì)自動(dòng)化、智能化程度要求越高越好。AMHS，也稱為天車系統(tǒng)，可快速準(zhǔn)確按照工藝流程在生產(chǎn)設(shè)備之間自動(dòng)搬送裝載晶圓。通過(guò)該系統(tǒng)，可以大幅度減少晶圓在各個(gè)工藝機(jī)臺(tái)的等待時(shí)間，提升生產(chǎn)效率，同時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)化的搬運(yùn)過(guò)程可明顯提高產(chǎn)品良率，通過(guò)無(wú)人化搬運(yùn)減少人員誤操作，因而廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片廠、芯片制造廠、芯片封裝廠。

合肥欣奕華主營(yíng)泛半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)及移載設(shè)備，以及工業(yè)軟件和大數(shù)據(jù)解決方案。自2021年開(kāi)始，合肥欣奕華布局半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)開(kāi)發(fā)，目前，已完成第四代產(chǎn)品迭代開(kāi)發(fā)。

作為AMHS的核心部件之一，合肥欣奕華第四代OHT（空中無(wú)人懸掛式搬運(yùn)車），較第三代產(chǎn)品本體尺寸縮小14厘米，直線行走速度可高達(dá)320米/分鐘，振動(dòng)控制≤0.35G，讓價(jià)值不菲且又體質(zhì)“脆弱”的晶圓，在快速自動(dòng)搬運(yùn)中獲得穩(wěn)穩(wěn)的依靠。

此外，該設(shè)備還可根據(jù)實(shí)際，實(shí)現(xiàn)最優(yōu)路徑規(guī)劃，并實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)更新，設(shè)備運(yùn)行軌跡與動(dòng)作可視化，運(yùn)行參數(shù)監(jiān)控可提前預(yù)測(cè)故障，各項(xiàng)技術(shù)規(guī)格水平達(dá)到全球先進(jìn)水平。

據(jù)悉，基于第四代OHT，合肥欣奕華打造的首套12寸半導(dǎo)體AMHS整體解決方案已于2023年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)交付客戶應(yīng)用，并陸續(xù)獲得了國(guó)內(nèi)8寸Fab客戶前道制程整廠AMHS訂單和12寸Fab客戶前道制程OHT訂單。

近年來(lái)，合肥半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，產(chǎn)業(yè)集聚效應(yīng)不斷凸顯，創(chuàng)新成果加速涌現(xiàn)。目前，合肥已經(jīng)成為全國(guó)少數(shù)幾個(gè)擁有集成電路設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試及設(shè)備材料全產(chǎn)業(yè)鏈的城市之一，集聚長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、晶合集成、通富微電、匯成股份、恒爍股份、頎中科技等一批龍頭企業(yè)。

合肥通客戶端—合報(bào)全媒體記者 李后祥