昨日，我市首個(gè)高能級(jí)微納平臺(tái)——甬江實(shí)驗(yàn)室信息材料與微納器件制備平臺(tái)研發(fā)線正式投用。這是甬江實(shí)驗(yàn)室迄今為止投入最大的平臺(tái)，致力打造成支撐前沿科技創(chuàng)新、引領(lǐng)微納制造共性技術(shù)、鏈接并賦能產(chǎn)研生態(tài)的開(kāi)放共享科創(chuàng)服務(wù)平臺(tái)。

“先進(jìn)封裝已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)超越摩爾定律、進(jìn)一步提升芯片性能的主要手段，而高能級(jí)微納平臺(tái)正是實(shí)現(xiàn)這一技術(shù)不可或缺的基礎(chǔ)支撐?！痹撈脚_(tái)負(fù)責(zé)人鐘飛介紹。

據(jù)悉，該平臺(tái)擁有一流的基礎(chǔ)設(shè)施、先進(jìn)的制程工藝，現(xiàn)已建成6英寸研發(fā)線和8英寸驗(yàn)證線各一條，配備了165臺(tái)（套）高端精密設(shè)備。此次投用的是6英寸研發(fā)線，8英寸驗(yàn)證線有望在2025年投用。

據(jù)悉，半導(dǎo)體設(shè)備成本高昂，企業(yè)若進(jìn)行重資產(chǎn)投入，一旦研發(fā)失敗將遭受重大損失?！捌脚_(tái)將通過(guò)設(shè)備開(kāi)放共享，降低企業(yè)的投入成本?！辩婏w介紹，同時(shí)，該平臺(tái)建立了完善的標(biāo)準(zhǔn)化工藝庫(kù)，可滿(mǎn)足不同芯片的研發(fā)需求，并開(kāi)放給企業(yè)使用。

將“鏈路”拉長(zhǎng)，該平臺(tái)有更大的追求——選擇有產(chǎn)業(yè)化前景的共性核心技術(shù)，與高校、企業(yè)聯(lián)合開(kāi)發(fā)，共同完成從理論到技術(shù)研究、從技術(shù)研究到樣品生產(chǎn)、最終實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

“力爭(zhēng)到2031年，建成有影響力的泛半導(dǎo)體領(lǐng)域全鏈條研發(fā)與驗(yàn)證平臺(tái)。”鐘飛道出了微納平臺(tái)的未來(lái)發(fā)展目標(biāo)。