從去年3月30日正式開工建設(shè)，到今年4月1日首張半導(dǎo)體光罩樣片成功“問世”，歷時(shí)整整一年。興華芯（紹興）半導(dǎo)體科技有限公司總經(jīng)理曾振瑞感慨地說，這是他和團(tuán)隊(duì)成員們?cè)诳聵蜻@片創(chuàng)業(yè)熱土上創(chuàng)造出的一段“佳話”！

表面呈正方形，長(zhǎng)、寬均為6英寸，厚度達(dá)0.25英寸，猶如一塊透明玻璃……4月2日下午，曾振瑞難掩激動(dòng)之情，作為一名有著20余年光罩產(chǎn)業(yè)從業(yè)經(jīng)驗(yàn)的“行家里手”，他指著手中的半導(dǎo)體光罩樣片向記者自豪地介紹，“別看這小小的一片樣品，可是我們81人的大團(tuán)隊(duì)一年來(lái)努力的‘結(jié)晶’！”

眾所周知，光刻技術(shù)是集成電路制造技術(shù)的重要組成部分，而光刻光罩是光刻技術(shù)中最核心的環(huán)節(jié)之一，光刻光罩上的圖形模式直接影響著芯片制造的精度和質(zhì)量。一直以來(lái)，由于在技術(shù)方面長(zhǎng)期遭到國(guó)外“卡脖子”，半導(dǎo)體芯片制造的“自主可控”已成為國(guó)內(nèi)當(dāng)下產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主攻方向之一。

這次“興華芯”首張半導(dǎo)體光罩樣片成功產(chǎn)出，無(wú)疑是個(gè)好開端?！澳壳埃覀円褜?shí)現(xiàn)每月產(chǎn)能1350片，等二期項(xiàng)目產(chǎn)能全部釋放后可達(dá)到3000片/月?！痹袢鸨硎?，目前半導(dǎo)體光罩市場(chǎng)中，國(guó)產(chǎn)替代率尚不足20%，市場(chǎng)前景非常好。隨著公司產(chǎn)能的進(jìn)一步提升，今后將成為國(guó)內(nèi)最大規(guī)模的光罩基地之一，預(yù)計(jì)全部達(dá)產(chǎn)后可年產(chǎn)半導(dǎo)體光罩3.6萬(wàn)片，實(shí)現(xiàn)年銷售17億元、利潤(rùn)5億元。

同樣令曾振瑞印象頗深的，還有來(lái)自于杭紹臨空示范區(qū)紹興片區(qū)對(duì)項(xiàng)目的全方位支持和“保姆式”服務(wù)。無(wú)論是從政府政策支持和資金補(bǔ)助，還是在項(xiàng)目推進(jìn)建設(shè)中的解難紓困，過程中的“臨空速度”“臨空服務(wù)”都讓他連連稱贊。

“光罩”僅僅是“興華芯”在半導(dǎo)體創(chuàng)業(yè)版圖中的一個(gè)局部。在曾振瑞看來(lái)，起好了步，以后的步子才能邁得更加穩(wěn)健。今后，公司還將孵化和帶動(dòng)更多的半導(dǎo)體芯片上下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展，進(jìn)而從“鏈”到“群”形成良性循環(huán)，在柯橋打造光電信息產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，加快形成新質(zhì)生產(chǎn)力，將光電信息產(chǎn)業(yè)打造成區(qū)域經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的新引擎。