在集成電路制造中，化學機械（CMP）拋光液如同芯片制造的“終極美容師”，需在原子級精度上實現(xiàn)晶圓表面平整，其中任何粒徑的偏差都影響電路品質好壞，因此，CMP拋光液曾一度被國際化工巨頭壟斷，如今柯橋經開區(qū)（金柯橋科技城）一家科創(chuàng)企業(yè)一舉突圍，自主研發(fā)生產氧化鈰、氧化硅拋光液，并成功實現(xiàn)規(guī)?；慨a，撕開了國產化替代的突破口。

這家科創(chuàng)企業(yè)就是柯橋經開區(qū)（金柯橋科技城）的人才企業(yè)——齊芯微（紹興）電子材料科技有限公司。

高質量補強助力產業(yè)鏈

走進位于壹迦科技產業(yè)園的齊芯微（紹興）電子材料科技有限公司的生產車間，嶄新的生產設備整齊排列，各個生產環(huán)節(jié)在系統(tǒng)操作下有條不紊進行，身著制服的技術人員正忙碌著。連日來，“齊芯微”制造的國產納米氧化鈰拋光液源源不斷灌裝入庫?！斑@里是即將交付的百萬級訂單?！痹诂F(xiàn)場，公司創(chuàng)始人周烈欣喜地說道，“去年11月份，隨著購置的生產設備逐步到位，項目正式實現(xiàn)試生產，目前部分產品正送樣測試，訂單情況充足?！?/p>

“化學機械拋光液是半導體產業(yè)鏈中重要環(huán)節(jié)，就目前來說，這一過程中使用到的氧化鈰、氧化硅等拋光液，長期依賴國外進口?！敝芰医忉尩?，正是瞅準了這一細分賽道的“國產替代”，自己和創(chuàng)始團隊的成員們憑借在該行業(yè)10余年的工作經驗和技術積淀，研發(fā)出獨特技術，并達到國內外領先水平。

隨著國內半導體先進制程從28nm向14nm進階，單顆芯片的拋光步驟也隨之激增，拋光液用量更是呈現(xiàn)出5至8倍增長，這些都給予了CMP拋光液廣闊的市場前景。為此，“齊芯微”在依托柯橋生產基地的基礎上，精益求精不斷研發(fā)，目前公司具備“研發(fā)-中試-量產”的垂直整合能力，并已通過國內頭部晶圓廠的技術驗證。

全流程服務跑出“加速度”

產品一經問世，就贏得國內頭部晶圓廠的青睞，作為一家外來的科創(chuàng)企業(yè)，“齊芯微”能如此之快在柯橋這片土地上“落地生根結果”，快速融入到紹興半導體產業(yè)鏈，這其中離不開柯橋經開區(qū)（金柯橋科技城）的“全流程服務”。

“無論是在前期的資金扶持上，還是生產場地的對接，以及幫忙介紹下游客戶，柯橋經開區(qū)（金柯橋科技城）在項目推進過程中都給予了不少幫助，這些都讓我們感受到來自政府的滿滿誠意?！敝芰冶硎荆褒R芯微”通過柯橋區(qū)“人才+平臺”A類項目引進，隨后柯橋經開區(qū)（金柯橋科技城）便幫忙對接本地產業(yè)園，協(xié)調出2000余平方米的標準化廠房，讓項目投產駛上“快車道”。

如今，公司生產運營逐漸駛入正軌，氧化鈰拋光液、氧化硅拋光液兩款核心產品達到量產出貨狀態(tài)，成功直接或間接參與到中芯國際、京東方等產品的供應鏈中，此外公司還在研制Copper BULK拋光液、鎢拋光液等，憑借多元化產品布局，以滿足不同行業(yè)的需求，不斷增強市場競爭力，為紹興半導體產業(yè)高質量發(fā)展提供“底盤”。