原標(biāo)題：上海集成電路產(chǎn)業(yè)韌性十足

　　市經(jīng)信委正聚焦產(chǎn)業(yè)鏈中市場(chǎng)配置難以完全奏效的環(huán)節(jié)補(bǔ)短板，助力產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步發(fā)展

　　2023年，全球集成電路產(chǎn)業(yè)低迷，市場(chǎng)規(guī)模下降8.2%，但同期，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展仍穩(wěn)健，銷售規(guī)模增長(zhǎng)2.3%。其中，產(chǎn)業(yè)比重占全國(guó)22.4%的上海尤顯韌性，去年增長(zhǎng)6.4%，更在今年1至4月實(shí)現(xiàn)17%的增速。這是記者從上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)六屆四次會(huì)員大會(huì)暨上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展國(guó)際高峰論壇上獲得的信息。

　　在去年以來(lái)上海集成電路產(chǎn)業(yè)的增長(zhǎng)中，設(shè)備材料制造拉動(dòng)較大，去年實(shí)現(xiàn)29%的增長(zhǎng)，證明產(chǎn)品品質(zhì)通過(guò)了市場(chǎng)與生產(chǎn)雙重考驗(yàn)。如現(xiàn)年80歲的尹志堯博士于2004年創(chuàng)辦的中微公司，去年實(shí)現(xiàn)了成立以來(lái)的最好業(yè)績(jī)，刻蝕設(shè)備新增訂單價(jià)值達(dá)69.5億元，同比增長(zhǎng)60%。公司的CCP電容性高能等離子體刻蝕機(jī)和ICP電感性低能等離子體刻蝕機(jī)，可滿足國(guó)內(nèi)95%以上的刻蝕應(yīng)用需求。而在國(guó)際先進(jìn)的芯片制造客戶生產(chǎn)線上，已有近600臺(tái)中微的雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕設(shè)備，其中一半用于5納米及更先進(jìn)制程。

　　事實(shí)上，集成電路微觀加工設(shè)備是產(chǎn)業(yè)真正的底座，去年以約千億美元的產(chǎn)值支撐了約1萬(wàn)億美元的半導(dǎo)體芯片制造，由此再支撐約3萬(wàn)億美元的電子系統(tǒng)，最終帶動(dòng)全球約20萬(wàn)億美元的軟件、網(wǎng)絡(luò)、電商、傳媒、AI、自動(dòng)駕駛、ChatGPT等數(shù)碼智能產(chǎn)業(yè)上層應(yīng)用。由于是產(chǎn)業(yè)的核心之核心，因此近年來(lái)國(guó)際集成電路產(chǎn)業(yè)間彼此制約與限制的舉措中80%以上圍繞設(shè)備進(jìn)行。

　　芯片制造需要上千道工序，其中光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備及檢測(cè)設(shè)備是最關(guān)鍵的。目前，我國(guó)在DUV和EUV光刻機(jī)、電子束檢測(cè)等設(shè)備領(lǐng)域的自主可控程度存在“高風(fēng)險(xiǎn)”或“難以覆蓋”，但刻蝕機(jī)領(lǐng)域與國(guó)際先進(jìn)水平差距不大。如果將芯片制造比作雕刻，光刻機(jī)就是將雕刻線稿(電路圖)描繪在材料(晶圓表面)上的畫筆，刻蝕機(jī)則是負(fù)責(zé)剔除線稿多余部分的雕刻刀。尹志堯在論壇上介紹，中微公司的等離子體刻蝕機(jī)相當(dāng)于在頭發(fā)絲直徑七千分之一到上萬(wàn)分之一的尺度上加工微觀結(jié)構(gòu)。一臺(tái)刻蝕機(jī)每年要加工10的18次方，相當(dāng)于打出百萬(wàn)萬(wàn)億個(gè)又細(xì)又深的接觸孔，并實(shí)現(xiàn)99.99%的均一性。

　　上海市經(jīng)信委相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，市經(jīng)信委正聚焦產(chǎn)業(yè)鏈中市場(chǎng)配置難以完全奏效的環(huán)節(jié)，補(bǔ)上短板，助力集成電路產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步發(fā)展。如成立上海電子化學(xué)品專區(qū)，重點(diǎn)發(fā)展光刻膠及配套材料等，力爭(zhēng)到2025年與本地集成電路產(chǎn)業(yè)電子化學(xué)品配套率達(dá)70%；又如，在臨港成立中國(guó)RISC-V產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，RISC-V是第五代精簡(jiǎn)指令集的簡(jiǎn)稱，是軟硬件間一系列接口的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范；再如引入瞻芯、天岳等頭部企業(yè)，在臨港超前布局寬禁帶半導(dǎo)體即第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地等。

　　又訊(記者 吳越)昨天，上海大學(xué)微電子學(xué)院黨委、嘉定區(qū)菊?qǐng)@新區(qū)黨工委、上海微技術(shù)工業(yè)研究院黨支部簽訂黨建共建協(xié)議。作為三方黨建共建的“一號(hào)項(xiàng)目”，上海大學(xué)微電子學(xué)院在菊?qǐng)@新區(qū)成立上海集成電路緊缺人才實(shí)訓(xùn)基地，探索工業(yè)聯(lián)合、產(chǎn)教融合的人才培養(yǎng)模式。