合肥芯碁微電子裝備股份有限公司機(jī)械裝配組長衛(wèi)功文，憑借一顆不服輸?shù)?ldquo;匠心”和敢于同“難題”掰手腕的決心，入選2023年“合肥工匠”名單。

“工作要求我必須對每寸每厘精益求精。”提到光刻機(jī)的工作原理，衛(wèi)功文解釋得通俗易懂。“你可以簡單理解為，它借助光在基板上進(jìn)行畫圖，而精密運(yùn)動平臺則是光刻機(jī)的核心部件，只有平臺走得準(zhǔn)，光刻機(jī)才能制作出高精度產(chǎn)品。”

然而光刻機(jī)相關(guān)工作的難度，還是遠(yuǎn)超衛(wèi)功文的想象。比如，超精密直線運(yùn)動如何保證？圖形正確性與YAW值關(guān)系，偏差如何調(diào)校？……這些難題從衛(wèi)功文來到車間起，便一直困擾著他，“國內(nèi)沒有經(jīng)驗(yàn)可用，國外只賣設(shè)備，封鎖制造技術(shù)。”這種無力感讓衛(wèi)功文深有感觸，憑借一顆不服輸?shù)?ldquo;匠心”，他想與這些“難題”掰掰手腕。

此后，衛(wèi)功文帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)結(jié)合對高精度光學(xué)系統(tǒng)、標(biāo)定系統(tǒng)、工件臺精密運(yùn)動系統(tǒng)各部件特性的了解，最終找到對YAW值快速高效不破壞基礎(chǔ)整體的調(diào)校方法，探索出0.5米至3米長軌道1.2um直線度、1.5um平行度的精密裝配和調(diào)校技術(shù)以及X/Y/Z方向各位置關(guān)系精密定位保證，并被國內(nèi)同行業(yè)借鑒規(guī)模使用。“我們實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)直寫光刻機(jī)從無到有的技術(shù)突破，技術(shù)迭代。”

采訪中，合肥芯碁微電子裝備股份有限公司主要負(fù)責(zé)人告訴記者，這項(xiàng)技術(shù)不僅對公司設(shè)備量產(chǎn)裝配調(diào)校以及后期客戶端維修服務(wù)起到絕對性的保障作用，還拓展到多機(jī)型應(yīng)用，為公司設(shè)備自主國產(chǎn)化試制到量產(chǎn)，奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

·記者 汪濤·