7月25日，紹興芯鏈半導(dǎo)體科技有限公司首片光罩保護(hù)膜產(chǎn)品發(fā)布會(huì)舉行，正式宣告國內(nèi)第一片國產(chǎn)光罩保護(hù)膜誕生，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)光罩保護(hù)膜產(chǎn)品“零”的突破。這對于中國半導(dǎo)體光罩領(lǐng)域來說具有深遠(yuǎn)意義，是整合半導(dǎo)體光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈的重大突破。

紹興芯鏈半導(dǎo)體科技有限公司位于杭紹臨空經(jīng)濟(jì)一體化發(fā)展示范區(qū)紹興片區(qū)內(nèi)，主要從事光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。令人振奮的是，該項(xiàng)目于2023年5月29日土地摘牌，1個(gè)月開工建設(shè)，10個(gè)月完成結(jié)頂，12個(gè)月試運(yùn)行，成為“柯橋速度”的又一樣板。

記者了解到，一直以來，光罩保護(hù)膜都是國家“卡脖子”技術(shù)難題：配方方面，國內(nèi)尚無廠商生產(chǎn)，完全依賴進(jìn)口；工藝方面，旋涂、烘干等技術(shù)復(fù)雜，厚度、透光率等要求嚴(yán)苛。而紹興芯鏈半導(dǎo)體公司致力于整合光罩材料全產(chǎn)業(yè)鏈，是當(dāng)今全國唯一、世界唯二的能生產(chǎn)光罩保護(hù)膜、BIM及PSM光罩基板的廠家。

“發(fā)布會(huì)不僅是光罩保護(hù)膜的一次全面展示，更是芯鏈創(chuàng)新精神和科技實(shí)力的集中體現(xiàn)。從研發(fā)到試生產(chǎn)，再到產(chǎn)品的最終呈現(xiàn)，每個(gè)環(huán)節(jié)都凝聚了芯鏈每位同仁無盡的心血?！惫究偨?jīng)理李佳珍看到團(tuán)隊(duì)的努力終于“結(jié)果”，也感慨萬千。她說，未來公司將繼續(xù)跟隨國家半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略，圍繞高端半導(dǎo)體材料提供更高質(zhì)量的產(chǎn)品，持續(xù)加大研發(fā)投入，逐步實(shí)現(xiàn)先進(jìn)光罩上游材料的量產(chǎn)，成為國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流的半導(dǎo)體材料標(biāo)桿企業(yè)。

“高榕資本”“紅杉中國”等是項(xiàng)目的投資方，從早期就開始孵化和陪伴團(tuán)隊(duì)的研發(fā)過程?！案唛刨Y本”相關(guān)負(fù)責(zé)人袁烽表示：“該項(xiàng)目不僅打破我國對該領(lǐng)域關(guān)鍵材料的進(jìn)口依賴，有效填補(bǔ)國內(nèi)產(chǎn)品空白，也將進(jìn)一步提升中國光罩保護(hù)膜技術(shù)能力，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)延鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈。因此我們對它的投資，無論從商業(yè)還是戰(zhàn)略性價(jià)值都極具影響意義?！?/p>

作為芯鏈項(xiàng)目的“娘家人”，今年來，臨空示范區(qū)始終秉持“項(xiàng)目為王”理念，在奮力打造新質(zhì)生產(chǎn)力重要增長極新征程上，圖強(qiáng)爭先、領(lǐng)跑競跑。項(xiàng)目引進(jìn)后，臨空示范區(qū)管委會(huì)迅速組建項(xiàng)目落地專班，借助項(xiàng)目落地扁平化工作機(jī)制，常態(tài)化開展項(xiàng)目建設(shè)服務(wù)，推動(dòng)項(xiàng)目快開工、快建設(shè)、快投產(chǎn)。此外，不斷夯實(shí)要素保障，以海峽兩岸(紹興)數(shù)字產(chǎn)業(yè)臨空經(jīng)濟(jì)園建設(shè)為契機(jī)，全面統(tǒng)籌“路、電、水、管、氣”等要素，推動(dòng)優(yōu)質(zhì)資源向重點(diǎn)片區(qū)、重點(diǎn)企業(yè)傾斜。針對芯鏈半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目道路進(jìn)出、電力管線鋪設(shè)訴求，提速修建能源路、發(fā)展路“一橫一縱”企業(yè)關(guān)鍵進(jìn)出通道，提前3個(gè)月實(shí)現(xiàn)通車。這才有了芯鏈的工廠建設(shè)和產(chǎn)品研發(fā)同時(shí)進(jìn)行，項(xiàng)目開工后1個(gè)月便下線樣片的驚人速度。

目前，在臨空示范區(qū)管委會(huì)的服務(wù)幫助下，芯鏈半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目已成功入選全省第二批重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目公示名單。此次首先發(fā)布KrF光罩保護(hù)膜后，很快將繼續(xù)完成其他規(guī)格的ArF光罩保護(hù)膜、I-line/G-line保護(hù)膜產(chǎn)品，為中國半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)貢獻(xiàn)更完整的產(chǎn)品矩陣。