原標(biāo)題:浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室楊德仁院士——
自主創(chuàng)新,新材料助力“中國(guó)芯”
國(guó)慶假期這幾天,中科院院士、浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室教授楊德仁和同事并沒(méi)有休息,而是忙于編制一個(gè)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目的實(shí)施方案。“這個(gè)項(xiàng)目叫做硅基發(fā)光基礎(chǔ)理論及器件關(guān)鍵技術(shù),10月中旬前后將正式啟動(dòng)。我們探尋用光來(lái)代替電子,在硅芯片上傳輸信息。”楊德仁告訴記者,如果在這一前沿領(lǐng)域有所突破,新的硅基光電子芯片有望成為現(xiàn)實(shí)。
與此同時(shí),在金瑞泓微電子(衢州)有限公司的車(chē)間里,12英寸硅晶圓的生產(chǎn)線正在緊張安裝調(diào)試。12英寸硅晶圓是當(dāng)前制備芯片的基礎(chǔ),其全球生產(chǎn)長(zhǎng)期壟斷在少數(shù)幾家外國(guó)企業(yè)手中。楊德仁帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)和企業(yè)開(kāi)展產(chǎn)學(xué)研合作,自主開(kāi)發(fā)了制備微量摻氮、微量摻鍺、重?fù)搅椎?2英寸硅晶圓技術(shù),目前即將實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。他說(shuō):“能夠自己生產(chǎn)12英寸硅晶圓,我們?cè)谛酒a(chǎn)業(yè)國(guó)際競(jìng)賽中才有底氣。”
硅材料,半個(gè)多世紀(jì)以來(lái)始終是微電子科技和產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的基石,楊德仁在這一領(lǐng)域耕耘了30多年,研究成果兩次獲得國(guó)家自然科學(xué)獎(jiǎng)。“硅儲(chǔ)量豐富、環(huán)境友好、制備成本低……在可預(yù)見(jiàn)的未來(lái),硅仍將是微電子發(fā)展不可或缺的基礎(chǔ)。在硅材料上率先取得新的突破,將推動(dòng)我們?cè)谖㈦娮宇I(lǐng)域的一些關(guān)鍵方面趕超世界先進(jìn)水平。”楊德仁說(shuō)。
在楊德仁看來(lái),我國(guó)硅材料基礎(chǔ)研究已經(jīng)能與國(guó)際先進(jìn)水平平等對(duì)話,但走出實(shí)驗(yàn)室,硅材料創(chuàng)新成果的產(chǎn)業(yè)化程度相比發(fā)達(dá)國(guó)家還存在明顯差距。“必須堅(jiān)持走自主創(chuàng)新之路,形成自己的核心競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。”他說(shuō),中國(guó)在硅材料的另一個(gè)重要應(yīng)用領(lǐng)域——太陽(yáng)能光伏上已經(jīng)取得了世界級(jí)的成功,相信通過(guò)進(jìn)一步科學(xué)布局、集聚資源、激活人才……我們?cè)诠杌㈦娮蛹夹g(shù)上也會(huì)不斷有新作為。(記者 曾福泉)