記者 李曄

  2023年，全球集成電路產(chǎn)業(yè)低迷，市場規(guī)模下降8.2%，但同期，我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展仍穩(wěn)健，銷售規(guī)模增長2.3%。其中，產(chǎn)業(yè)比重占全國22.4%的上海尤顯韌性，去年增長6.4%，更在今年1至4月實現(xiàn)17%的增速。這是記者從上海市集成電路行業(yè)協(xié)會六屆四次會員大會暨上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展國際高峰論壇上獲得的信息。

  在去年以來上海集成電路產(chǎn)業(yè)的增長中，設(shè)備材料制造拉動較大，去年實現(xiàn)29%的增長，證明產(chǎn)品品質(zhì)通過了市場與生產(chǎn)雙重考驗。如現(xiàn)年80歲的尹志堯博士于2004年創(chuàng)辦的中微公司，去年實現(xiàn)了成立以來的最好業(yè)績，刻蝕設(shè)備新增訂單價值達69.5億元，同比增長60%。公司的CCP電容性高能等離子體刻蝕機和ICP電感性低能等離子體刻蝕機，可滿足國內(nèi)95%以上的刻蝕應(yīng)用需求。而在國際先進的芯片制造客戶生產(chǎn)線上，已有近600臺中微的雙反應(yīng)臺刻蝕設(shè)備，其中一半用于5納米及更先進制程。

  事實上，集成電路微觀加工設(shè)備是產(chǎn)業(yè)真正的底座，去年以約千億美元的產(chǎn)值支撐了約1萬億美元的半導體芯片制造，由此再支撐約3萬億美元的電子系統(tǒng)，最終帶動全球約20萬億美元的軟件、網(wǎng)絡(luò)、電商、傳媒、AI、自動駕駛、ChatGPT等數(shù)碼智能產(chǎn)業(yè)上層應(yīng)用。由于是產(chǎn)業(yè)的核心之核心，因此近年來國際集成電路產(chǎn)業(yè)間彼此制約與限制的舉措中80%以上圍繞設(shè)備進行。

  芯片制造需要上千道工序，其中光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備及檢測設(shè)備是最關(guān)鍵的。目前，我國在DUV和EUV光刻機、電子束檢測等設(shè)備領(lǐng)域的自主可控程度存在“高風險”或“難以覆蓋”，但刻蝕機領(lǐng)域與國際先進水平差距不大。如果將芯片制造比作雕刻，光刻機就是將雕刻線稿（電路圖）描繪在材料（晶圓表面）上的畫筆，刻蝕機則是負責剔除線稿多余部分的雕刻刀。尹志堯在論壇上介紹，中微公司的等離子體刻蝕機相當于在頭發(fā)絲直徑七千分之一到上萬分之一的尺度上加工微觀結(jié)構(gòu)。一臺刻蝕機每年要加工10的18次方，相當于打出百萬萬億個又細又深的接觸孔，并實現(xiàn)99.99%的均一性。

  上海市經(jīng)信委相關(guān)負責人介紹，市經(jīng)信委正聚焦產(chǎn)業(yè)鏈中市場配置難以完全奏效的環(huán)節(jié)，補上短板，助力集成電路產(chǎn)業(yè)進一步發(fā)展。如成立上海電子化學品專區(qū)，重點發(fā)展光刻膠及配套材料等，力爭到2025年與本地集成電路產(chǎn)業(yè)電子化學品配套率達70%；又如，在臨港成立中國RISC-V產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，RISC-V是第五代精簡指令集的簡稱，是軟硬件間一系列接口的標準規(guī)范；再如引入瞻芯、天岳等頭部企業(yè)，在臨港超前布局寬禁帶半導體即第三代半導體產(chǎn)業(yè)基地等。

  又訊（記者 吳越）昨天，上海大學微電子學院黨委、嘉定區(qū)菊園新區(qū)黨工委、上海微技術(shù)工業(yè)研究院黨支部簽訂黨建共建協(xié)議。作為三方黨建共建的“一號項目”，上海大學微電子學院在菊園新區(qū)成立上海集成電路緊缺人才實訓基地，探索工業(yè)聯(lián)合、產(chǎn)教融合的人才培養(yǎng)模式。